利用線型攝影機（Line Camera）將安裝於XYθ載台（Stage）上的晶圓晶片製成分析資料（Mapping Data）後，再以高解析度面型攝影機（Area Camera）同時檢查多片晶片的裝置。

此外，已將各種功能濃縮於精簡的裝置尺寸內。
W900×D760×H1500mm